电浆产生装置

摘要

本实用新型公开了一种电浆产生装置，其主要包括一第一腔体；至少两个第二腔体；一气体分散组件；至少两个屏蔽单元；一扰流单元；至少两个电极板以及至少一射频电流源。通过该扰流单元与扰流单元的设置，该电浆产生装置的腔体可提供较均匀的电浆密度，进而提升制程稳定度。

主权项

一种电浆产生装置，其包括：一第一腔体，该第一腔体的外表面电性接地，且具有一第一进气口及一第一出气口，其中第一进气口用以通入制程气体，第一出气口则用以排出制程气体；至少两个第二腔体，配置于第一腔体的内部，其具有一第二进气口，其中第二进气口通过该第一进气口引入制程气体；一气体分散组件，配置于第二腔体中且邻近于第二进气口，由至少两个中空圆柱体与至少两个中空锥体组合而成，中空圆柱体用以控制气体流速，中空锥体则用以达到均匀扩散气体的功效；至少两个屏蔽单元，配置于第二腔体中，具有至少两个第一孔洞，用以排出第二腔体的制程气体；一扰流单元，配置于第二腔体中且邻近于屏蔽单元，具有至少两个第二孔洞，用以调整通入第二腔体的制程气体的速率及流量；至少两个电极板，配置于第二腔体的内部，用以呈载至少一制程基板，其中电极板的面积介于864平方公分至50400平方公分之间；以及至少一射频电流源，设置于第一腔体外部，电性连接电极板，用以提供一射频电流以产生电浆于第二腔体内；其中，该气体分散组件可同时包括多段不同直径的中空圆柱体与中空锥体组合而成，直径较小部分具有高流速，直径较大部分则具有低流速。