发明名称 Vacuum Dry Device for Manufacturing LCD
摘要
申请公布号 KR101201326(B1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 KR20050135759 申请日期 2005.12.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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