配置用于处理多种尺寸的组件板的处理件

摘要

一种组件板处理设备，配置以处理、装载、抓取、支撑、撷取、及/或转移例如多种不同尺寸的晶圆或基材架或太阳能电池板(“组件板”)。该组件板处理设备包括至少一组件板抓取组件，可在一些不同位置之间移位，每一位置对应特定组件板尺寸。因此，该至少一组件板抓取组件可安置到不同位置，以容许对应尺寸的组件板的处理、装载、抓取、支撑、撷取、及/或转移。该组件板处理设备也包括位置对准机构，配置以控制及/或实现该至少一组件板抓取组件至不同位置的移动。该组件板处理设备也可包括至少一移动手臂，耦接于该至少一组件板抓取组件。藉由该至少一移动手臂的至少一个部分的移动、旋转、及/或平移来实现该至少一组件板抓取组件的移动。本发明亦包括一种用于处理多种尺寸的组件板(例如晶圆或基材架或太阳能电池板)的方法。

主权项

一种设备，包括：多个移动手臂，每个移动手臂包括设于其纵长方向的至少一组件板抓取组件，该至少一组件板抓取组件配置为抓取组件板，该多个移动手臂在多个若干组预设位置之间移动，每一组的若干组预设位置对应不同形状和/或尺寸的组件板；及位置控制机构，适应地耦接该多个移动手臂，该位置控制机构配置以控制多个移动手臂移动至多个若干组预设位置中的一组预设位置，对应于待处理的组件板的形状和尺寸，其中该多个移动手臂的移动实现其上该至少一组件板抓取组件移动至一组预设位置，以抓取和处理对应于预设形状和尺寸的组件板。