一种单晶炉加料装置

摘要

一种单晶炉加料装置，包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨，所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接，加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰，加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接，转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动，漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧，漏斗下端与内管连接。本实用新型的有益效果在于：通过转动电机和线性移动导轨的控制，使加料更为精确、便捷，为不同型号、大小的单晶炉石英坩埚进行加料，避免能源浪费。

主权项

一种单晶炉加料装置，其特征在于：包括真空泵、加料器、加料连接筒、漏斗、内管、内管支撑件、外管、外管支撑、转动电机和线性移动导轨，所述的加料器上部通过真空管与真空泵连接，加料连接筒上下两端各设有一个真空密封连接法兰，加料连接筒上端通过真空密封连接法兰与加料器连接，转动电机设于加料连接筒上侧且与线性移动导轨同轴驱动，漏斗上端固定于加料连接筒上部内侧，漏斗下端与内管连接，内管支撑件一端固定于加料连接筒上部内侧，内管支撑件另一端固定于内管上部外侧，外管支撑件一端与线性移动导轨连接，另一端固定于外管上部外侧，所述的外管套接与内管外侧。