高表面容积比结构及其与微型热交换器的结合

摘要

披露一种制造用于热交换器的微型结构的结构和方法。热交换器包括歧管层和微型结构化区域。歧管层包括将流体递送到微型结构化区域的结构。微型结构化区域由多个窗口层形成，窗口层由热传导层形成，通过湿蚀刻工艺，多个微观开口穿过热传导层形成。多个窗口层接着连接在一起以便形成合成微观结构。

主权项

一种制造包括微型结构的热交换器的方法，该方法包括：a.使用材料去除工艺形成穿过多个热传导层的多个微观开口以便形成多个窗口层；以及b.通过将多个窗口层连接在一起形成合成微型结构来在该合成微型结构内形成微型网格。