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发明名称
摘要
申请公布号 JP5073286(B2) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 JP20060354485 申请日期 2006.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/3065;H01L21/768;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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