一种溅射靶材

摘要

本实用新型公开了属于溅射靶材技术领域的一种溅射靶材。所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凸起，该凸起与背板上的凹槽相对应，用以嵌入相应的背板中，所述靶坯的凸起嵌入所述背板的凹槽内。本实用新型能够最大量的提高靶材的有效溅射厚度，延长靶材的溅射寿命。本实用新型的溅射靶材因靶厚度的加深，使得靶材的寿命提高了至少30％，具有非常好的实际意义。

主权项

一种溅射靶材，包括靶材和背板，其特征在于：所述背板具有一凹槽，该凹槽为圆柱形凹槽或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凹槽，该凹槽用以容纳靶坯的嵌入，所述靶坯具有一凸起，该凸起为圆柱形凸起或者为直径向内侧逐渐减小的阶梯式凸起，该凸起与背板上的凹槽相对应，用以嵌入相应的背板中，所述靶坯的凸起嵌入所述背板的凹槽内。