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发明名称 Rod target for arc evaporation source, manufacturing method therefor, and arc deposition device
摘要
申请公布号 EP1408136(B1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 EP20030021245 申请日期 2003.09.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 发明人 FUJI, HIROFUMI;MIYAMOTO, RYOUJI;SHIMOJAMA, KATUHIKO
分类号 C23C14/24;C23C14/32 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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