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发明名称
摘要
申请公布号 JP5073885(B2) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 JP20000544013 申请日期 1998.04.13
申请人 发明人
分类号 H01L27/15;H01S3/098;G02B6/43;G06F1/10;H01L;H01L31/12;H01L31/153;H01L31/167;H01L33/00;H01S3/10 主分类号 H01L27/15
代理机构 代理人
主权项
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