一种碳化硅浆软着陆装卸载装置

摘要

本实用新型涉及一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆的固定件和基体，基体上设置有用于驱动固定件沿竖直方向运动的升降运动机构和用于驱动升降运动机构和固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；水平运动机构包括两条设置在基体上的水平导轨，水平导轨上设置有可相对水平导轨滑动的水平溜板，升降运动机构固定设置在水平溜板上，水平运动机构还包括与水平溜板连接、以驱动水平溜板相对水平导轨滑动的水平同步传动带，水平同步传动带连接有水平运动电机。本实用新型降低了碳化硅浆软着陆装卸载装置制造中对零件的精度要求，降低了制造成本，且结构简单，安装方便，不会产生污染，运行起来噪音低。

主权项

一种碳化硅浆软着陆装卸载装置，包括用于连接碳化硅浆(13)的固定件和基体(1)；所述基体(1)上设置有用于驱动所述固定件沿竖直方向运动的升降运动机构，和用于驱动所述升降运动机构和所述固定件一起沿水平方向运动的水平运动机构；所述水平运动机构包括两条设置在所述基体(1)上的水平导轨(2)，所述水平导轨(2)上设置有可相对所述水平导轨(2)滑动的水平溜板(5)，所述升降运动机构固定设置在所述水平溜板(5)上；其特征在于，所述水平运动机构还包括与所述水平溜板(5)连接、以驱动所述水平溜板(5)相对所述水平导轨(2)滑动的水平同步传动带(3)，所述水平同步传动带(3)连接有水平运动电机(11)。