化学气相沉积炉气体预热装置

摘要

本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积炉气体预热装置，包括底座、设置在底座上的换热段、安装在换热段上方的顶盖及设置在底座上套在换热段下端部外的气体分流板，底座与气体分流板之间留有空腔，所述底座上设有导气孔，所述换热段包括气体导入段和气体导出段，气体导入段与导气孔连通，气体导出段与空腔连通，气体分流板上设置有分流孔。本实用新型可以实现充分预热，预热完成的气体通过气体分配板流出，预热后的气体在炉底流过后，利用气体的流动携带热量作用均衡了炉内温度，提高了料腔均温性。

主权项

一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征在于：包括底座、设置在底座上的换热段、安装在换热段上方的顶盖及设置在底座上套在换热段下端部外的气体分流板，底座与气体分流板之间留有空腔，底座上设有导气孔，所述换热段包括气体导入段和气体导出段，气体导入段与导气孔连通，气体导出段与空腔连通，气体分流板上设置有分流孔。