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发明名称 Method for manufacturing silicon single crystal
摘要
申请公布号 EP2287369(B1) 申请公布日期 2012.11.14
申请号 EP20100191738 申请日期 2003.07.07
申请人 SUMCO CORPORATION 发明人 WAKABAYASHI, DAISUKE;SAITO, MASAO;SATO, SATOSHI;FURUKAWA, JUN;KITAMURA, KOUNOSUKE
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B15/22;C30B29/06 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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