| 发明名称 | 用于生物技术应用的包括一片齿棱的装置 | ||
| 摘要 | 一种制造包括一片测微齿棱的装置的方法，包括以下步骤：在载体上形成多晶层；使用包括氯气和氦气的气体混合物各向异性等离子体刻蚀全部或部分多晶层，由此在多晶层表面形成齿棱。 | ||
| 申请公布号 | CN101100639B | 申请公布日期 | 2012.11.14 |
| 申请号 | CN200610171911.6 | 申请日期 | 2006.07.05 |
| 申请人 | ST微电子公司 | 发明人 | O·德萨迦赞;M·德诺埃尔 |
| 分类号 | C12M3/00(2006.01)I;C12Q1/04(2006.01)I;G01N1/28(2006.01)I | 主分类号 | C12M3/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 任宗华 |
| 主权项 | 一种制造包括一片测微齿棱的装置的方法，包括以下步骤：在载体(10)上形成多晶层(11)，所述多晶层是硅或硅/锗层；使用包括氯气和氦气的气体混合物各向异性等离子体刻蚀全部或部分多晶层，由此在每一齿棱位置不使用掩模的情况下在多晶层表面形成齿棱(15)。 | ||
| 地址 | 法国蒙鲁日 | ||