应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置

摘要

本发明涉及一种定位装置。装置主要包括基板、驱动装置和定位在基板上的由驱动装置驱动的同步定位装置。采用硅片托来放置机械手干末端执行器运送过来的待抛光硅片，伺服电机驱动齿轮转动，齿轮和转盘啮合，进而带动与转盘相连接的各拉钩件转动，从而拉动各定位杆在基板的限位条孔中同时定向移动，当定位杆接触到硅片边缘时即实现定位功能，此时安装在固定板上的光电传感器感测到转盘上限位板的存在，控制中心随即发出指令使伺服电机反转以使定位杆恢复到最初位置。定位前后，分别是机械手的干、湿末端执行器捉取硅片，可以避免末端执行器对已抛光或未抛光硅片的交叉污染。同时该定位过程也为机械手及时更换干/湿末端执行器赢取了时间，有利于硅片装载、抛光过程的顺利进行。

主权项

一种应用于硅片化学机械抛光设备中的定位转换装置，其特征在于其包括基板(111)、设置在基板(111)上的同步定位装置以及和同步定位装置相连接的驱动装置，同步定位装置包括设置在基板(111)上的中心轴(104)、套装在中心轴(104)上的转盘(105)、和转盘(105)相铰接的3个或4个拉钩件(106)以及设置在拉钩件(106)另一端的在基板(111)上的径向限位条孔(112)内移动的定位杆(110)，所述驱动装置包括伺服电机(101)、和伺服电机(101)传动轴相连接的齿轮(102)，齿轮(102)和所述转盘(105)相啮合，所述转盘(105)下表面设置有限位板(103)，和限位板(103)的位置相对应在固定板(108)上设置有光电传感器(109)，固定板(108)设置在中心轴(104)上，所述基板(111)中心部位设置一个用来承载硅片的硅片托(100)。