一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器及制备方法

摘要

一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器，由N个串联的超导纳米线以及相应的N个旁路电阻组成，每个旁路电阻设置在每两个相邻的超导纳米线之间，超导纳米线为氮化铌或者是氮化铌钛等超导材料制成，旁路电阻由金或者是钛等金属薄膜制成，本发明还提供了该超导纳米线单光子探测器的制备方法，制得的超导纳米线单光子探测器量子效率高、计数率高、暗计数低、带有光子数分辨能力，并且不受漏电流影响。

主权项

一种能分辨光子数的超导纳米线单光子探测器，其特征在于，由N个串联的超导纳米线以及相应的N个旁路电阻组成，每个旁路电阻分别与相应的一个超导纳米线并联，并联后的单元再串联，所述N为大于等于2的整数。