一种旋转光束模块组激光运动轨迹控制系统

摘要

本发明属于激光加工领域，公开了一种旋转光束模块组激光运动轨迹控制系统，具体为：两个或者两个以上的旋转光束模块串联，最后的输出光束在沿着最后一个旋转模块入射光的光轴公转的同时还沿着公转轨迹进行自转动，再经过光学聚焦系统，得到聚焦光束，若其聚焦焦点的填充运动轨迹横截面为实心圆，可实现用高斯激光达到平顶激光加工效果，且保留高斯激光长焦深和高斯分布光强的激光加工的特点；若其聚焦焦点的填充运动轨迹横截面为圆环，由于激光刻蚀的缝的宽度较宽，有利于材料熔渣的喷出，大大提高加工效率和加工质量，非常适合激光钻孔和一些脆硬材料的激光铣削加工；若将旋转光束模块锁定，激光恢复窄线宽激光微加工，增加激光设备的应用范围。

主权项

一种旋转光束模块组激光运动轨迹控制系统，其特征在于：包括入射光、两个或者两个以上串联起来的旋转光束模块以及配置其后面的振镜扫描聚焦系统或者静态聚焦平台运动系统或者振镜扫描聚焦平台运动系统；所述旋转光束模块各自独立旋转，旋转光束模块的输出光束的光轴沿着其入射光的光轴进行公转；后一旋转光束模块的输出光束的光轴沿着前一旋转光束模块的输出的光束的光轴进行公转，并且还沿着公转轨迹进行自转；所述入射光经所述串联旋转光束模块组后，再经所述振镜扫描聚焦系统或者静态聚焦平台运动系统或者振镜扫描聚焦平台运动系统，其聚焦焦点的填充运动轨迹横截面为实心圆或者圆环，实现其聚焦的光束焦点在工件表面形成实心圆或者圆环的扫描轨迹。