线切割机冷却液回收装置

摘要

一种线切割机冷却液回收装置，包括筒体、固定于筒体内部的围堰及组装于筒体用于加载冷却液的进料机构，其中筒体的底部设有粉料排出口，所述围堰和所述粉料排出口之间形成容纳冷却液的空腔，所述围堰设有连通所述空腔与外界的通道，所述围堰与筒体之间形成有溜槽且所述溜槽与所述空腔相隔离。冷却液从进料机构进入空腔和通道内，并随着冷却液的增多，冷却液的液面逐渐上升，并最终从围堰溢出后流入溜槽内并最终流出筒体。冷却液中含有的硅的粉粒在此过程中不断沉积，且降至筒体的底部，并最终由粉粒排除口排出。这样从该线切割机冷却液回收装置出来的冷却液中硅的粉粒的浓度会显著降低，线切割机加工出来的硅片的质量就会较高。

主权项

一种线切割机冷却液回收装置，其特征在于，包括筒体、固定于筒体内部的围堰及组装于筒体用于加载冷却液的进料机构，其中筒体的底部设有粉料排出口，所述围堰和所述粉料排出口之间形成容纳冷却液的空腔，所述围堰设有连通所述空腔与外界的通道，所述围堰与筒体之间形成有溜槽且所述溜槽与所述空腔相隔离。