发明名称 使用配置为处理和传输组件板的多种组件板处理器的系统及方法
摘要 一种用来将组件板(例如,膜框架)从组件板储存站传输至真空桌组合件的系统及方法。该系统包含数个组件板处理件(例如,两个组件板处理件)、以及拾取及放置机构或臂件。该组件板处理件将该组件板从该储存站传输至该拾取及放置机构。该系统包含对准模块或结构,当该组件板耦接至该组件板处理件或由该组件板处理件承载时,配置该对准模块或结构以促进或实现该组件板的空间对准。该对准模块可藉由该拾取及放置机构承载。在将该组件板从该组件板处理件传输至该拾取及放置机构之前,可实质上完成该组件板的空间对准。该拾取及放置机构包含一组真空(或吸引)组件或垫件,该真空组件或垫件使得从该组件板处理件拾取该组件板,且在该真空桌组合件处释放及拾取该组件板。
申请公布号 CN102779775A 申请公布日期 2012.11.14
申请号 CN201210151546.8 申请日期 2012.05.14
申请人 联达科技设备私人有限公司 发明人 金剑平;王利光
分类号 H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 主分类号 H01L21/68(2006.01)I
代理机构 上海光华专利事务所 31219 代理人 余明伟
主权项 一种用以处理组件板的系统,包括:至少一个组件板处理件,每个组件板处理件包括端部作用件,配置该端部作用件以从组件板储存站提取组件板;所述至少一个组件板处理件耦接至所述端部作用件上的套合组件,配置所述端部作用件上的套合组件以使其适合与藉由所述端部作用件承载的组件板上的对应组的套合沟槽嵌合,以实现所述组件板的对准;以及对准模块,其设于该组件板储存站外部的位置,其中,所述至少一个组件板处理件中的每个组件板处理件的端部作用件与所述对准模块之间朝向彼此的相对移位,导致由所述端部作用件所承载的组件板的至少部分末端与该对准模块接触,以实现在该组件板上施加外力,并因此移位所述组件板,以使得所述组件板上所述组的套合沟槽与所述端部作用件的套合组件嵌合。
地址 新加坡加冷盆地工业园区加冷大道04-01号