用于监控静电卡盘边珠材料的侵蚀的电气和光学系统和方法

摘要

一种披露的装置，包含要安装到静电卡盘的边珠的边缘粘合密封件。该边缘粘合密封件包括由第一材料组成的监控层，该第一材料被配置为或能发射能够被光学监控的物质或者具有能够被监控的电阻之一，或者两者。该边缘粘合密封件进一步包括边缘粘合层，被配置为至少散布于该监控层和该等离子体环境之间。该边缘粘合层是由因为与该等离子体环境起反应而对侵蚀敏感的第二材料组成并被配置为在充分暴露于该等离子体环境之后将该光学监控层暴露于该等离子体环境。

主权项

一种监控在等离子体环境中使用的静电卡盘的损耗的装置，所述装置包含：边缘粘合密封件，其被配置为安装到所述静电卡盘的边珠并包括由第一材料组成的电气监控层，所述第一材料被配置为根据对所述等离子体环境的暴露而电阻率变化；边缘粘合层，被配置为至少散布于所述电气监控层和所述等离子体环境之间，所述边缘粘合层由因为与所述等离子体环境起反应而对侵蚀敏感的非导电材料组成并被配置为在充分暴露于所述等离子体环境之后将所述电气监控层暴露于所述等离子体环境；以及耦合于所述电气监控层的电气监控装置。