| 发明名称 | 一种热场装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供一种热场装置，所述热场装置包括：坩埚、设置于所述坩埚下方的坩埚托盘、设置于所述坩埚托盘下方的支撑柱以及设置于所述支撑柱下方的支撑柱底座，其中，所述坩埚与所述坩埚托盘之间、所述坩埚托盘与所述支撑柱之间和/或所述支撑柱与所述支撑柱底座之间设置有用于防粘连的涂层。本实用新型能够有效防止热场装置中的各部件在高温状态下的粘连现象。 | ||
| 申请公布号 | CN202530197U | 申请公布日期 | 2012.11.14 |
| 申请号 | CN201220021343.2 | 申请日期 | 2012.01.17 |
| 申请人 | 徐州协鑫光电科技有限公司 | 发明人 | 钱兵 |
| 分类号 | C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I | 主分类号 | C30B17/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;赵爱军 |
| 主权项 | 一种热场装置，其特征在于，包括：坩埚、设置于所述坩埚下方的坩埚托盘、设置于所述坩埚托盘下方的支撑柱以及设置于所述支撑柱下方的支撑柱底座，其中，所述坩埚与所述坩埚托盘之间、所述坩埚托盘与所述支撑柱之间和/或所述支撑柱与所述支撑柱底座之间设置有用于防粘连的涂层。 | ||
| 地址 | 221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 | ||