发明名称 |
感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法、印刷线路板的制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。 |
申请公布号 |
CN102778815A |
申请公布日期 |
2012.11.14 |
申请号 |
CN201210141658.5 |
申请日期 |
2012.05.09 |
申请人 |
日立化成工业株式会社 |
发明人 |
深谷雄大;宫坂昌宏;矶纯一 |
分类号 |
G03F7/033(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/033(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 72002 |
代理人 |
张楠;陈建全 |
主权项 |
一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,所述(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。 |
地址 |
日本东京 |