发明名称 感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法、印刷线路板的制造方法
摘要 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
申请公布号 CN102778815A 申请公布日期 2012.11.14
申请号 CN201210141658.5 申请日期 2012.05.09
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 深谷雄大;宫坂昌宏;矶纯一
分类号 G03F7/033(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H05K3/06(2006.01)I 主分类号 G03F7/033(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人 张楠;陈建全
主权项 一种感光性树脂组合物,其含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,所述(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
地址 日本东京