一种净化工业尾气中四氟化硅的方法

摘要

本发明公开了一种净化工业尾气中四氟化硅的方法，该方法用改性的活性炭作为催化剂，在微氧条件下处理净化含四氟化硅的工业尾气，本发明方法中的催化剂具有成本低，活性高、催化性好的特点，通过本发明方法净化后的尾气，四氟化硅去除率在95%以上。

主权项

一种净化工业尾气中四氟化硅的方法，其特征在于按如下步骤进行：（1）用70℃去离子水洗涤活性炭灰尘后，将活性炭按固液比1：5‑10放入氢氧化钾与磺化钛氰钴混合溶液中浸渍老化24‑36h，过滤后用蒸馏水洗涤3‑5次，在90‑120℃下干燥12‑24h，然后通入氮气，在绝氧条件、200‑500℃下焙烧6‑10h，即得到净化所用的催化剂；（2）将改性催化剂放入固定床，密封，在加热条件40‑100℃下通入含有四氟化硅的工业尾气反应空速为100‑300h‑1，并补充氧气，氧气在工业尾气中的体积百分比浓度为0.2‑2%，吸附处理后尾气即为净化后尾气；（3）失活后催化剂用水蒸气洗涤2‑6h后，在100‑150℃下干燥12h，即得到再生后催化剂，循环用于净化工业四氟化硅尾气。