具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备

摘要

本实用新型公开了一种等离子设备,旨在提供一种操作简单、节约成本且能避免卷性材料卷起时出现偏差的具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备。本实用新型包括框体（1），所述框体（1）内部抽真空成真空腔室（2），在所述真空腔室（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）及若干导向轴，在所述真空腔室（2）内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域（6），在所述真空腔室（2）内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架（71）、两个导向辊（72）、摆动马达（73）及纠偏感应器（74）构成，卷性材料绕过两个所述导向辊（72）并通过所述纠偏感应器（74）最后收于所述收料轴（4）。本实用新型可广泛应用于等离子设备领域。

主权项

一种具有纠偏功能的处理卷性材料的等离子处理设备，包括框体（1），所述框体（1）内部抽真空成真空腔室（2），在所述真空腔室（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）及若干导向轴，所述放料轴（3）和所述收料轴（4）分别由两个伺服电机（5）驱动，在所述真空腔室（2）内还设置有由正电极和负电极构成的若干等离子区域（6），卷性材料从所述等离子区域（6）中穿过，其特征在于：在所述真空腔室（2）内还设置有纠偏装置，所述纠偏装置由安装架（71）、两个导向辊（72）、摆动马达（73）及纠偏感应器（74）构成，卷性材料绕过两个所述导向辊（72）并通过所述纠偏感应器（74）最后收于所述收料轴（4）。