发明名称 |
MULTI-STAGE PUMP ROTOR FOR TURBO-MOLECULAR PUMP |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP2209995(B1) |
申请公布日期 |
2012.11.14 |
申请号 |
EP20080804453 |
申请日期 |
2008.09.19 |
申请人 |
OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH |
发明人 |
ENGLAENDER, HEINRICH |
分类号 |
F04D19/04;F04D29/32;F04D29/64 |
主分类号 |
F04D19/04 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|