传感器型真空计

摘要

本发明的目的在于提供一种运行成本低的传感器型真空计，其不会损失节省空间、降低功耗和节约成本等功能，根据测量对象物可在多点进行压力测量。具有在真空室VC上装卸自如的本体（11），该本体（11）上一体组装有：传感器部（15、16、17）；第一检测设备（19）；提供压力测量所需电力的第一电源（E1）；以及控制第一电源的启动并且处理来自第一检测设备的输出进行压力测量的控制设备（C）。具有传感器部第二检测设备（2）可经由配线与本体连接，所述第二检测设备（2）能与第一检测设备分担真空室的变化的压力范围检测压力。在本体上，安装有对第二检测设备提供测量所需电力的第二电源（E2），将第二检测设备的输出导入给控制设备使压力测量能够进行。

主权项

一种传感器型真空计，其具有在被密封保存的测量对象物上装卸自如的本体，该本体上一体组装有：具有传感器部的第一检测设备；提供压力测量所需电力的第一电源；以及控制该第一电源的启动并且通过处理第一检测设备的输出进行压力测量的控制设备，所述传感器型真空计，其特征在于：具有传感器部的第二检测设备经由配线可与所述本体连接，所述第二检测设备能在测量对象物的变化的范围内与第一检测设备分担检测压力，该本体上安装有向第二检测设备提供测量所需电力的第二电源，将来自第二检测设备的输出导入给控制设备使压力测量能够进行。