发明名称 机器人系统
摘要 本发明提供了一种机器人系统。该机器人系统包括:机器人手,其用于搬运沿着竖直方向以多个层次收纳在收纳单元中的基板;位置检测单元,其用于检测收纳在所述收纳单元内的所述基板的收纳位置;净空计算单元,其用于基于所述位置检测单元检测出的所述基板的收纳位置来计算相邻基板之间的净空;以及进入允许/禁止确定单元,其用于基于所述净空计算单元计算出的净空来确定允许还是禁止所述机器人手进入所述基板之间的空间。
申请公布号 CN102779771A 申请公布日期 2012.11.14
申请号 CN201210062021.7 申请日期 2012.03.09
申请人 株式会社安川电机 发明人 木村吉希
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 吕俊刚;张旭东
主权项 一种机器人系统,该机器人系统包括:机器人手,其用于搬运沿着竖直方向以多个层次收纳在收纳单元中的基板;位置检测单元,其用于检测收纳在所述收纳单元内的所述基板的收纳位置;净空计算单元,其用于基于所述位置检测单元检测出的所述基板的收纳位置来计算相邻基板之间的净空;以及进入允许/禁止确定单元,其用于基于所述净空计算单元计算出的净空来确定允许还是禁止所述机器人手进入所述基板之间的空间。
地址 日本福冈县