| 发明名称 | 对准系统参考板和探测光纤的安装、调整装置及装调方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及对准系统参考板和探测光纤的安装、调整装置及装调方法，该装置包括参考板支架、参考板调节板、探测光纤连接板和光纤定位架；所述对准系统参考板安装在所述参考板调节板的一侧；所述参考板调节板安装在所述参考板支架的侧面，所述对准系统参考板嵌入所述参考板支架内；所述光纤定位架嵌在所述探测光纤连接板内，所述探测光纤连接板安装在所述参考板调节板的另一侧；所述探测光纤的一端依次穿过所述光纤定位架、探测光纤连接板和参考板调节板，连接在所述对准系统参考板的后端。 | ||
| 申请公布号 | CN101976021B | 申请公布日期 | 2012.11.14 |
| 申请号 | CN201010504660.5 | 申请日期 | 2010.10.12 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 袁永刚 |
| 分类号 | G03F9/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F9/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种对准系统参考板和探测光纤的安装装置，其特征在于，包括参考板支架、参考板调节板、探测光纤连接板和光纤定位架；所述对准系统参考板安装在所述参考板调节板的一侧；所述参考板调节板安装在所述参考板支架的侧面，所述对准系统参考板嵌入所述参考板支架内；所述光纤定位架嵌在所述探测光纤连接板内，所述探测光纤连接板安装在所述参考板调节板的另一侧；所述探测光纤的一端依次穿过所述光纤定位架、探测光纤连接板和参考板调节板，连接在所述对准系统参考板的后端。 | ||
| 地址 | 201203 上海市张东路1525号 | ||