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Kalibriervorrichtung für Online-Schwefelhexafluorid-Feuchtigkeitsmessgeräte, dadurch gekennzeichnet, dass ein Gasvorratsbehälter (1) durch ein Gasauslassrohr mit einer Kalibrierkammer (3) verbunden ist, wobei an dem Gasauslassrohr ein Kalibrier-Einlassventil (5) angeordnet ist, wobei die Kalibrierkammer durch ein Rohr mit einer Zykluspumpenkammer (4) verbunden ist, wobei an dem Gasableitungsrohr der Zykluspumpenkammer ein Kontaktventil (7), ein Gasableitungsventil (8) und ein Gasableitung-Flussmengenmessgerät (14) in einer Reihenfolge angeordnet sind, wobei das Auslassrohr der Zykluspumpenkammer mit dem Gasvorratsbehälter (1) verbunden ist, wobei an dem Auslassrohr ein Auslassventil (6) angeordnet ist, wobei eine Membranpumpe (13) innerhalb der Zykluspumpenkammer (4) angeordnet ist, wobei an der Zykluspumpenkammer (4) ein Zyklusdruckmessgerät (11) angeordnet ist, wobei an der Kalibrierkammer (3) eine Schnittstelle (12) zum Verbinden mit den kalibrierten Feuchtigkeitssensoren angeordnet ist; wobei an der Gasvorratskammer (1) ein Druckmessgerät (15) angeordnet ist, wobei an der Gasvorratskammer (1) ein Gaseinlassrohr angeordnet ist, wobei an dem Gaseinlassrohr ein Gaseinlassventil (16) angeordnet ist; wobei eine Vakuumpumpe durch eine Vakuumrohrleitung...
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