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发明名称 PLASMA REACTOR HAVING HOT BAFFLE AND WAFER HANDLE METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR101200720(B1) 申请公布日期 2012.11.13
申请号 KR20110029329 申请日期 2011.03.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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