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发明名称 Barrier polishing solution
摘要
申请公布号 KR101200566(B1) 申请公布日期 2012.11.13
申请号 KR20050032664 申请日期 2005.04.20
申请人 发明人
分类号 B24B37/00;C09K3/14;C09G1/02;H01L21/304;H01L21/321 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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