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发明名称
Thin film manufacturing apparatus and thin film deposition method using the same
摘要
申请公布号
KR101200372(B1)
申请公布日期
2012.11.12
申请号
KR20050051326
申请日期
2005.06.15
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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