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发明名称 INDIUM OXIDE TARGET
摘要
申请公布号 KR101200386(B1) 申请公布日期 2012.11.12
申请号 KR20107009350 申请日期 2008.10.03
申请人 发明人
分类号 C23C14/34;C23C14/08;H01B5/14;H01B13/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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