| 主权项 |
一种探针支撑装置，用以供复数个探针被设置于其上，包含：一刚性承载件，具有一刚性基板以及复数个延伸于该刚性基板之支撑柱，且该等支撑柱之末端系位于同一设置平面；及一探针基板，该等支撑柱之末端系连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板维持平板化，且该等探针系被设置于该被平板化之探针基板，使该等探针之前端共同构成之平面平行于一预设平面。如申请专利范围第1项所述之探针支撑装置，其中各该支撑柱具有不同的长度。如申请专利范围第1项所述之探针支撑装置，其中该刚性承载件具有一基准平面，该等支撑柱为等长且互相平行地延伸于该基准平面。一种探针卡总成，用以电连接一晶片之至少一讯号馈入点及至少一讯号馈出点，包含：一刚性基板；复数个支撑柱，分别具有一固定端及一自由端，其中该支撑柱之固定端固定于该刚性基板，且该等支撑柱之自由端系位于同一设置平面；一探针基板，位于该设置平面上，且该等支撑柱之自由端系连接于该探针基板，消除该探针基板的翘曲变形而使该探针基板被平板化；及复数个探针，设置于该被平板化之探针基板，使该等探针之前端共同定义之平面系平行于一预设平面，用以接触该讯号馈入点及该讯号馈出点。如申请专利范围第4项所述之探针卡总成，其中包含一电路板，电性连接于该等探针，用以产生测试讯号通过该讯号馈入点至该晶片，及通过该讯号馈出点接收该晶片产生之回馈讯号。如申请专利范围第5项所述之探针卡总成，其中该电路板及该等支撑柱系固定于该刚性基板之一侧面，且该等支撑柱穿过该电路板。如申请专利范围第6项所述之探针卡总成，其中该电路板具有复数个穿孔，用以供各该支撑柱穿过。如申请专利范围第5项所述之探针卡总成，其中该电路板及该等支撑柱系分别固定于该刚性基板之二侧面。如申请专利范围第5项所述之探针卡总成，其中包含复数个电连接组件，电性连接该电路板及该等探针。如申请专利范围第5项所述之探针卡总成，其中包含一中间材，电性连接该电路板及该等探针。如申请专利范围第4项所述之探针卡总成，其中各该支撑柱系互相平行地延伸于该刚性基板。如申请专利范围第4项所述之探针卡总成，其中各该支撑柱之自由端系共同在同一个加工平面上进行一机械加工程序，使经过该机械加工程序后的该等自由端位于该设置平面。如申请专利范围第4项所述之探针卡总成，其中该等支撑柱系一体成形于该刚性基板。一种探针支撑装置，用以供复数个探针被设置于其上，包含：一刚性基板，具有一基准平面；复数个等长且互相平行之支撑柱，分别具有一固定端及一自由端，其中该支撑柱之固定端系固定于该刚性基板之基准平面，使该等支撑柱之自由端系共同位于一设置平面；及一探针基板，该等支撑柱之自由端系连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板被平板化，该等探针被设置于该被平板化之探针基板，使该等探针之前端共同定义之一平面平行于一预设平面。如申请专利范围第14项所述之探针支撑装置，其中包含一电路板，电性连接于该等探针，用以通过该等探针传送及接收讯号。如申请专利范围第14项所述之探针支撑装置，其中该刚性基板具有复数个固定孔，该等支撑柱系穿过该固定孔，使各该固定端设置于该基准平面。如申请专利范围第16项所述之探针支撑装置，其中各该固定端之外径系大于各该固定孔之内径。如申请专利范围第16项所述之探针支撑装置，其中包含一电路板，结合于该结合面，且电性连接于该等探针，用以通过该等探针传送及接收讯号。如申请专利范围第18项所述之探针支撑装置，其中该电路板具有复数个穿孔，用以供该等支撑柱穿过。如申请专利范围第15项所述之探针支撑装置，其中包含复数个电连接组件，用以电性连接电路板及该等探针。如申请专利范围第15项所述之探针支撑装置，其中包含一中间材，电性连接该电路板及该等探针。如申请专利范围第14项所述之探针支撑装置，其中该刚性基板之基准平面系于一加工平面上进行研磨而形成，使其构成一平面的支撑结构。一种探针支撑装置，用以供复数个探针被设置于其上，包含：一刚性基板，具有一外侧面及一结合面；复数个基准块，设置于该刚性基板之结合面，且设置后该等基准块之顶面系共同位于一基准平面；复数个等长且互相平行之支撑柱，分别穿过该等基准块其中之一及该刚性基板，且各支撑柱分别具有一固定端及一自由端，其中该支撑柱之固定端系固定该基准平面，使该等支撑柱之自由端系共同位于一设置平面；及一探针基板，该等支撑柱之自由端系连接于该探针基板，以消除该探针基板的翘曲变形，而使该探针基板被平板化，该等探针被设置于该探针基板，使该等探针之前端共同定义之平面平行于一预设平面。如申请专利范围第23项所述之探针支撑装置，其中包含一电路板，电性连接于该等探针，用以通过该等探针传送及接收讯号。如申请专利范围第24项所述之探针支撑装置，其中该电路板结合于该结合面，且该等支撑柱系穿过该电路板。如申请专利范围第23项所述之探针支撑装置，其中该刚性基板具有复数个对应于支撑柱之固定孔，且该各基准块分别穿孔，重叠于该刚性基板之固定孔。如申请专利范围第26项所述之探针支撑装置，其中各该支撑柱之固定端的外径大于对应基准块之穿孔的内径。如申请专利范围第24项所述之探针支撑装置，其中包含复数个固定盖，用以压扣固定各该支撑柱之固定端。 |
