基板之搬送装置

摘要

本发明系提供一种藉由端部支撑滚轮及载运滚轮以同等力固持基板宽度方向两端部之上下面的搬送装置。;该基板之搬送装置系具备有轴线相对于基板之搬送方向交叉并以一定间隔配置之复数搬送轴3，设于搬送轴且支撑基板宽度方向两端部以外之部份的下面之复数搬送滚轮21及支撑基板宽度方向两端部的下面之端部支撑滚轮22，分别于搬送轴一端部及另一端部上方使其轴线与前述搬送轴平行且其对应于搬送轴两端部之一端部受支撑并可旋转之一对载运滚轮轴25，设于各前述载运滚轮轴之另一端部且分别按压宽度方向的端部上面之一对载运滚轮27，以及调整设于载运滚轮轴之载运滚轮按压前述基板上面之按压力之砝码29。

主权项

一种基板之搬送装置，系用以朝预定方向搬送基板者，包含有：复数搬送轴，系其轴方向之两端部受支撑并可旋转，且其轴线相对于前述基板之搬送方向交叉并以一定间隔配置者；复数搬送滚轮，系设于该搬送轴，且支撑前述基板之宽度方向两端部以外之部份的下面者；端部支撑滚轮，系设于前述搬送轴，且支撑前述基板之宽度方向两端部的下面者；一对载运滚轮轴，系配置成分别于前述搬送轴一端部及另一端部上方使其轴线与前述搬送轴平行，且其对应于前述搬送轴两端部之一端部受支撑并可旋转者；一对载运滚轮，系设于各载运滚轮轴之另一端部，且分别按压宽度方向端部下面藉由前述端部支撑滚轮所支撑之前述基板的宽度方向端部上面者；及砝码，系设于前述载运滚轮轴，且设置成可沿前述载运滚轮轴之轴方向进行定位调整，并在前述滚轮轴之轴方向上移动调整安装位置，藉此以依照上述载运滚轮，调整前述载运滚轮按压前述基板上面之按压力，防止搬运到预定方向之前述基板蛇行者。如申请专利范围第1项的基板之搬送装置，其中前述搬送轴系藉由驱动机构旋转驱动，并且前述一对载运滚轮轴系藉由动力传达机构传达前述搬送轴之旋转。如申请专利范围第1项的基板之搬送装置，其中前述载运滚轮之外周面上，可拆卸地安装有用以按压前述基板之宽度方向端部上面的弹性按压构件，前述端部支撑滚轮之外周面上，在与前述弹性按压构件对向之位置上形成有阶差部，且该阶差部与前述弹性按压构件之间形成有可放入前述基板之宽度方向端部的间隙。