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发明名称 Boat For Processing A Substrate
摘要
申请公布号 KR101199954(B1) 申请公布日期 2012.11.09
申请号 KR20100051056 申请日期 2010.05.31
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/324;H01L21/673 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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