Ionenstrahlvorrichtung

摘要

Bereitgestellt wird eine Ionenstrahlvorrichtung mit einer Gas/Elektro-Feldionisations-Ionenquelle, die das Schwingen einer Emitterspitze in berührungsloser Weise verhindern kann. Die Gas/Elektro-Feldionisations-Ionenquelle besteht aus einer Emitterspitze (21) zum Erzeugen von Ionen, einem Emittersockel (64), auf dem die Emitterspitze ruht, einer Ionisationskammer mit einer Extraktionselektrode (24), die der Emitterspitze gegenüberliegt und so beschaffen ist, dass sie die Emitterspitze (21) umgibt, und einem Gaszufuhrrohr (25) zum Zuführen von Gas in die Nähe der Emitterspitze. Der Emittersockel und ein Vakuumbehälter stehen in magnetischer Zusammenwirkung miteinander.