VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM ENTFERNEN VON VERUNREINIGUNGEN AUS METALLURGISCHEM SILIZIUM

摘要

Verfahren zum Entfernen von Verunreinigungen aus metallurgischem Silizium mit folgenden Schritten: Schmelzen des metallurgischen Siliziums; Einleiten des geschmolzenen Siliziums in eine Prozesskammer, wobei das geschmolzene Silizium beim Einleiten über eine Gasströmung zerstäubt wird, und anschließend zum Boden der Prozesskammer fällt; Erzeugen einer reaktiven Atmosphäre in der Prozesskammer, wobei die reaktive Atmosphäre ein Prozessgas enthält, das mit Verunreinigungen in dem geschmolzenen Silizium reagiert, um diese aus dem geschmolzenen Silizium zu entfernen.