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Ein System führt eine Massenflusslieferung eines Fluids durch und führt zudem eine Massenflussverifizierung des Fluids durch. Das System enthält ein Einlassventil, das den Fluss des Fluids in eine Kammer steuert bzw. regelt, ein Auslassventil, das den Fluss des Fluids aus der Kammer steuert bzw. regelt, einen Druckwandler, der den Druck des Fluids innerhalb der Kammer misst, einen Temperatursensor, der die Temperatur des Fluids innerhalb der Kammer misst, und einen Regler. Der Regler ist konfiguriert, das Öffnen und Schließen des Einlass- und des Auslassventils unter Verwendung der Messungen des Drucks und der Temperaturänderung innerhalb der Kammer zu regeln, um in einem ersten Modus eine Messung der Flussrate des Fluids durch eine Vorrichtung zu verifizieren und um in einem zweiten Modus eine gewünschte Fluidmenge aus der Kammer in eine Verarbeitungseinrichtung zu liefern.
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