| 摘要 |
Im vorliegenden Dokument werden Verfahren und Vorrichtungen zum Verarbeiten eines Substrats bereitgestellt. In einigen Ausführungsformen enthält eine Vorrichtung zum Verarbeiten eines Substrats eine Prozesskammer, in der ein Substratträger angeordnet ist, um eine Verarbeitungsoberfläche eines Substrats in einer gewünschten Position innerhalb der Prozesskammer zu stützen; eine erste Einlassöffnung zum Einleiten eines ersten Prozessgases über die Verarbeitungsoberfläche des Substrats in einer ersten Richtung; eine zweite Einlassöffnung zum Einleiten eines zweiten Prozessgases über die Verarbeitungsoberfläche des Substrats in einer zweiten Richtung, die von der ersten Richtung verschieden ist, wobei ein Azimutwinkel, zwischen der ersten Richtung und der zweiten Richtung mit Bezug auf eine Mittelachse des Substratsträgers gemessen, maximal etwa 145 Grad beträgt; und eine Auslassöffnung, die gegenüber der ersten Einlassöffnung angeordnet ist, um das erste und das zweite Prozessgas aus der Prozesskammer abzulassen.
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