METHOD FOR DETERMINING A CHANGE IN A VALUE OF CAPACITANCE OF A CAPACITIVE COMPONENT, AND APPARATUS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Änderung eines Werts einer Kapazität (CL) eines kapazitiven Bauelements (1) mit den Schritten: - Ausbilden einer elektrischen Schaltungsanordnung (2), welche das kapazitive Bauelement (CL) und einen Quarzoszillator (3) umfasst, wobei das kapazitive Bauelement (1) als Lastkapazität des Quarzoszillators (3) wirkt; - Versetzen des Quarzoszillators (3) in Schwingung mit einer ersten Frequenz (f0); - Ändern der Kapazität (CL) des kapazitiven Bauelements (1); - bei geänderter Kapazität (CL±?CL) Bestimmen einer Abweichung der Schwingungsfrequenz (?f) des Quarzoszillators (3) von der ersten Frequenz (f0); und - Bestimmen der Änderung des Werts der Kapazität (CL±?CL) des kapazitiven Bauelements (1) aus der Abweichung der Schwingungsfrequenz (?f).