一种批处理机台派货的方法和装置

摘要

本发明提供了一种批处理机台派货的方法和装置，该方法通过比较每个晶片组在批处理机台中执行工序的配方参数和该批处理机台的待处理晶片组的当前配方参数，优先处理配方参数相同晶片组的当前工序，向批处理机台派货，使得批处理机台尽快得到能够和待处理晶片组一起批处理的晶片组，从而减少了派货的等待时间，保证派货的正确性和灵活性，避免由于缺少可供批处理的晶片组派货使批处理机台无法进行批处理的问题，因此提高了生产效率节约了半导体制造的成本。

主权项

一种批处理机台派货的方法，对于不同晶片组，保存工序流程、执行每个工序的机台信息、每个工序的配方参数及当前工序执行状态，每个机台具有待处理晶片组，其特征在于，该方法包括：根据针对不同晶片组分别保存的工序流程、当前工序执行状态及执行每个工序的机台信息，从所有晶片组中确定要进入一机台执行工序的多个前程晶片组；在所述多个前程晶片组中，分别根据所保存的在该机台执行工序的配方参数，确定具有与待处理晶片组在该机台执行工序中所采用配方参数，相同的配方参数的前程晶片组，将所述确定前程晶片组执行当前工序。