单晶硅生产中氩气回收纯化装置

摘要

一种单晶硅生产中氩气回收纯化装置，该装置包括：一用于对从单晶炉中收集的氩气进行粗油过滤的粗油过滤器；在所述粗油过滤器之后依次相连有氩气压缩机和一水冷却器，并在其后相连有可除去氩气中油雾和固体颗粒高精度除油系统；一依次通过加热器和回热器相接于所述高精度除油系统的一级催化反应器以及通过所述回热器相接于所述一级催化反应器的二级催化反应器；一组至少由两只吸附器构成的常温吸附单元相接于所述的二级催化反应器；所述常温吸附单元通过一低温板式换热器以及节流阀连通于低温精馏塔，在该低温精馏塔的底部设置有纯液氩产品出口；它具有氩气回收率高，回收氩气纯度高，氧气含量低，回收纯化能耗低等特点。

主权项

一种单晶硅生产中氩气回收纯化装置，其特征在于该装置包括：一用于对从单晶炉中收集的氩气（100）进行粗油过滤并可当气体缓存罐使用的粗油过滤器（101）；在所述粗油过滤器（101）之后依次相连有氩气压缩机（102）和一水冷却器（103），并在其后相连有可除去氩气中油雾和固体颗粒高精度除油系统（104）；一依次通过加热器（108）和回热器（107）相接于所述高精度除油系统（104）的一级催化反应器（109），该催化反应器（109）选用氧化钛或氧化铝为载体的金属钯催化剂，并使甲烷、一氧化碳、烷烃类杂质同氧气反应生成水和二氧化碳；另一通过所述回热器（107）相接于所述一级催化反应器（109）的二级催化反应器（114），也选用氧化钛或氧化铝为载体的金属钯催化剂，并使氧气和氢气反应生成水；一组至少由两只吸附器构成的常温吸附单元（117）相接于所述的二级催化反应器（114），用于吸附氩气中的水和二氧化碳；所述常温吸附单元（117）通过一低温板式换热器（119）以及节流阀（121）连通于低温精馏塔（122），该低温精馏塔（122）的底部为蒸发器单元（141），顶部为冷凝器单元（144），在该低温精馏塔的底部设置有纯液氩产品（123）出口，而在低温精馏塔的顶部设置有精馏废气（127）出口。