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发明名称
摘要
申请公布号
JP5068179(B2)
申请公布日期
2012.11.07
申请号
JP20070551385
申请日期
2006.01.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/76;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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