发明名称 |
一种数控微镜阵光刻实现液晶任意取向控制的方法与装置 |
摘要 |
一种数控微镜阵光刻实现液晶任意取向控制的方法,利用一套基于DMD的投影式光刻系统,令准直后的紫外或蓝光束均匀照射到数控微镜阵DMD表面,计算机输出图形信号控制DMD各像素即单个微镜呈现不同反射状态实现掩模,即DMD各像素反射光实行图形信号的控制;所述光束通过显微物镜缩微后,经偏振片投射至表面涂有光控取向材料的基片上,控制光强、时间完成曝光,对曝光图案区域的液晶进行重新取向;与另一片基片组成液晶盒并灌晶,实现预定取向。该发明实现任意图形和取向方向的控制制备,在广视角液晶显示、可调光通讯器件、波前矫正、光束操纵等领域都具有潜在的重要应用。 |
申请公布号 |
CN102768472A |
申请公布日期 |
2012.11.07 |
申请号 |
CN201210225093.9 |
申请日期 |
2012.06.30 |
申请人 |
南京大学 |
发明人 |
陆延青;吴皓;胡伟;林晓雯;徐飞 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01)I;G02F1/1337(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01)I |
代理机构 |
南京天翼专利代理有限责任公司 32112 |
代理人 |
汤志武 |
主权项 |
一种数控微镜阵光刻实现液晶任意取向控制的方法,其特征是利用一套基于DMD的投影式光刻系统,令准直后的紫外或蓝光束均匀照射到数控微镜阵DMD表面,计算机输出图形信号控制DMD各像素即单个微镜呈现不同反射状态实现掩模,即DMD各像素反射光实行图形信号的控制;所述光束通过显微物镜缩微后,经偏振片投射至表面涂有光控取向材料的基片上,控制光强、时间完成曝光,对曝光图案区域的液晶进行重新取向;与另一片基片组成液晶盒并灌晶,实现预定取向。 |
地址 |
210093 江苏省南京市鼓楼区汉口路22号 |