一种液晶显示装置、阵列基板及其制作方法

摘要

本发明公开了一种阵列基板的制作方法，包括在基底上由下至上依次形成第一导电层、第一绝缘层、第二导电层以及第二绝缘层，其中，第一导电层用于形成相互电连接的扫描线和开关管的控制电极，然后对第二绝缘层进行干蚀刻以形成导通孔，最后在第二绝缘层上形成第三导电层以用于形成数据线。本发明还公开了一种阵列基板及液晶显示装置。通过上述方式，本发明能够大大降低阵列基板制作过程中静电炸伤的机率，提高阵列基板的良率。

主权项

一种阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在基底上由下至上依次形成第一导电层、第一绝缘层、第二导电层以及第二绝缘层，所述第一导电层用于形成相互电连接的扫描线和开关管的控制电极，所述第二导电层的数量至少为一，用于形成开关管的输入电极、输出电极以及透明的像素电极，所述输出电极与像素电极电连接；对所述第二绝缘层进行干蚀刻以形成导通孔；在所述第二绝缘层上形成第三导电层，使所述第三导电层通过导通孔与开关管的输入电极电连接，所述第三导电层用于形成数据线。