晶圆加热装置

摘要

一种晶圆加热装置，其具有一加热座，该加热座的底端耦接有一立柱，该加热座中设有一加热管与三个推杆，该三个推杆能够选择性延伸至加热座外部，以支撑移动中的晶圆；当三个推杆中的任一推杆断裂损坏时，其余的二个推杆将无法支撑移动中的晶圆，使工作人员能立即发现推杆断裂的问题，而立即停工检修，故能避免后续将要加热的晶圆继续进行加热，免除将要加热的晶圆因推杆断裂而损坏。

主权项

一种晶圆加热装置，其特征在于，包含有：一加热座；一立柱，其一端耦接所述加热座的底端；一加热管，其设于所述加热座中，所述加热管的一端延伸至所述立柱中；以及三个推杆，其能够选择性由所述加热座的顶端突伸至所述加热座外部，并且以一纵向设于所述加热座中。