附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法和附有树脂的网版印刷用掩模

摘要

本发明的网版印刷用掩模的制造方法是制造附有树脂的网版印刷用掩模的方法，所述附有树脂的网版印刷用掩模是在具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上，设置在与上述开口部大致相同位置上具有开口部的树脂层而成的，该制造方法的特征在于包含如下工序：在上述网版印刷用掩模一方的主要表面上通过层压加工来被覆树脂层的工序，和以自对准的方式除去位于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相同位置的上述树脂层的一部分而在树脂层上形成开口部的工序。

主权项

附有树脂的网版印刷用掩模的制造方法，所述附有树脂的网版印刷用掩模在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上，设置在与上述开口部大致相同位置上具有开口部的树脂层而成，所述树脂层由光交联性树脂或具有加热固化性的树脂构成，该方法的特征在于，包含如下工序：在已经具有开口部的网版印刷用掩模一方的主要表面上通过层压加工来被覆树脂层的工序，以自对准的方式除去位于与上述网版印刷用掩模的开口部大致相同位置的上述树脂层的一部分而在树脂层上形成开口部的工序，其中，以自对准的方式除去树脂层的一部分的工序是如下进行实施的，通过从与网版印刷用掩模的、设有树脂层的一侧的相反侧的主要表面供给树脂层除去液，由此除去未曝光的树脂层。