发明名称 | 一种单晶炉内用保温筒 | ||
摘要 | 本实用新型涉及一种单晶炉内用保温筒,该保温筒分成上、中、下三层,层与层之间设有连接环,且在环绕中层保温筒与下层保温筒之间的连接环的外部设有若干层碳毡。采用本实用新型,由于碳毡能保温,就会减少连接环散热,确保中层保温筒与下层保温筒之间保持相对的恒温,防止石英坩埚胀裂,从而出现漏硅现象。 | ||
申请公布号 | CN202519364U | 申请公布日期 | 2012.11.07 |
申请号 | CN201220154277.6 | 申请日期 | 2012.04.13 |
申请人 | 浙江矽盛电子有限公司 | 发明人 | 金炯;余小金;郜勇军 |
分类号 | C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I | 主分类号 | C30B15/00(2006.01)I |
代理机构 | 杭州之江专利事务所(普通合伙) 33216 | 代理人 | 林蜀 |
主权项 | 一种单晶炉内用保温筒,分成上、中、下三层,层与层之间设有连接环,其特征在于环绕中层保温筒与下层保温筒之间的连接环的外部设有若干层碳毡。 | ||
地址 | 324300 浙江省衢州市开化县工业园区银辉路8号(矽盛电子) |