SINTERED COMPLEX OXIDE, METHOD FOR PRODUCING SINTERED COMPLEX OXIDE, SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILM,申请号EP20090797914-传众专利搜索

发明名称	SINTERED COMPLEX OXIDE, METHOD FOR PRODUCING SINTERED COMPLEX OXIDE, SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING THIN FILM
摘要
申请公布号	EP2301904(B1)	申请公布日期	2012.11.07
申请号	EP20090797914	申请日期	2009.07.14
申请人	TOSOH CORPORATION	发明人	KURAMOCHI HIDETO;OMI KENJI;ICHIDA MASANORI;IIGUSA HITOSHI
分类号	C04B35/453;C23C14/08;C23C14/34	主分类号	C04B35/453
代理机构		代理人
主权项
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