发明名称 |
压印方法和器件 |
摘要 |
在基片S上形成压印结构P的方法包括:将多个压印工具段(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)施加到基片的至少一个表面上。在基片S上形成压印结构P的装置(30,90)包括可单独地驱动、可多个成组协调地驱动、或上述两者相组合地驱动的多个压印工具段(32,40a,40b,40c,50,60,70,80,92)。 |
申请公布号 |
CN101410323B |
申请公布日期 |
2012.11.07 |
申请号 |
CN200780010622.0 |
申请日期 |
2007.01.24 |
申请人 |
迈克罗拉布诊断有限公司 |
发明人 |
迈卡·J·阿特金 |
分类号 |
B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B1/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
马高平 |
主权项 |
一种在基片上形成压印结构的方法,该方法包括:(i)将多个压印工具段施加到基片的至少一个表面上,其中(i)包括将第一压印工具段施加到所述基片的至少一个表面上从而形成第一子图案,和将第二压印工具段施加到所述基片的至少一个表面上从而形成第二子图案,并且其中第一子图案和第二子图案至少部分重叠。 |
地址 |
澳大利亚维多利亚 |